螺桿式真空泵的主要抽氣部件是安裝在8字形泵體定子中的一對螺桿轉(zhuǎn)子，由一對同步齒輪帶動(dòng)做相反方向的同步旋轉(zhuǎn)。工作過程中，主動(dòng)轉(zhuǎn)子的齒頂部分深入到從動(dòng)轉(zhuǎn)子的齒槽之中，將從動(dòng)轉(zhuǎn)子齒槽的空余部分隔離成為一個(gè)個(gè)獨(dú)立的、與前后不相通的儲氣空間，同理，從動(dòng)轉(zhuǎn)子的齒頂也將主動(dòng)轉(zhuǎn)子的齒槽隔離成為同樣大小的儲氣空間。每一個(gè)螺旋導(dǎo)程內(nèi)的主、從轉(zhuǎn)子的儲氣空間，共同構(gòu)成了螺桿真空泵的一級儲氣容積。當(dāng)兩只螺桿轉(zhuǎn)子做同步逆向旋轉(zhuǎn)時(shí)，各級齒槽儲氣容積則沿螺桿轉(zhuǎn)子軸向由吸氣端向排氣端移動(dòng)，并將由吸氣口吸入的、存在于齒槽儲氣容積之中的被抽氣體一同傳送，直至由排氣口排出泵外。如圖所示。